真空熱壓燒結(jié)爐是一種用于高性能材料加工的先進(jìn)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、陶瓷和金屬材料等領(lǐng)域。由于其復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和高溫高壓的工作環(huán)境，真空熱壓燒結(jié)爐在日常運(yùn)行中可能會遇到各種緊急情況。為了確保設(shè)備的安全穩(wěn)定運(yùn)行，必須制定詳細(xì)的應(yīng)急措施。以下是針對真空熱壓燒結(jié)爐日常應(yīng)急措施的描述：
1. 冷卻水異常
- 確認(rèn)加熱電源已停止：當(dāng)發(fā)現(xiàn)冷卻水異常時(shí)，第一步應(yīng)立即確認(rèn)并停止加熱電源，以防止設(shè)備過熱。
- 采取應(yīng)急措施保證水量：如果冷卻水量不足，應(yīng)盡快采取措施補(bǔ)充水量，保持真空狀態(tài)。如果不能及時(shí)處理，則保持設(shè)備原狀，等待自然冷卻。
- 接通緊急用冷卻水：在高溫狀態(tài)下(超過200℃)，如果冷卻水停止，應(yīng)立即接通緊急冷卻水，防止水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵被損壞。
2. 壓縮空氣停止
- 恢復(fù)壓縮空氣供應(yīng)：當(dāng)壓縮空氣異常報(bào)警時(shí)，應(yīng)迅速到備用的壓縮機(jī)房，恢復(fù)壓縮空氣供應(yīng)。
- 終止真空讓設(shè)備停下：如果壓縮空氣恢復(fù)需要較長時(shí)間，應(yīng)終止真空，讓設(shè)備停下來，避免設(shè)備在無壓縮空氣的情況下繼續(xù)運(yùn)行。
3. 停電
- 接通備用冷卻水：停電時(shí)，首先檢查是否斷水。如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，保證水源供應(yīng)。
- 根據(jù)情況重新啟動(dòng)或保持原狀：在非升溫、加熱和冷卻階段，如果電力能夠盡快恢復(fù)，可以重新啟動(dòng)設(shè)備繼續(xù)運(yùn)行；如果需要較長時(shí)間恢復(fù)，則將設(shè)備保持原狀。
- 自然冷卻：如果在加熱和冷卻階段停電，且短時(shí)間內(nèi)無法恢復(fù)電力，應(yīng)保持設(shè)備原狀，讓其自然冷卻下來。
4. 加熱電源掉電
- 檢查水壓和接地故障：當(dāng)加熱電源掉電時(shí)，首先檢查水壓是否低于0.15MPa以及是否存在接地故障。
- 處理真空放電問題：如果爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa，可能是由于電介質(zhì)擊穿引起的放電。此時(shí)應(yīng)檢查水冷電極接頭與加熱器的連接是否牢固，并確保與反射屏絕緣良好。
5. 充氣氣體停止
- 確認(rèn)氣體管路是否堵塞：抽真空開始前，如果氣體充入時(shí)間長或者無法充入，應(yīng)先確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。
- 檢查電磁閥及充氣閥動(dòng)作：如氣體管路沒有問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作是否正常。必要時(shí)，停止相關(guān)聯(lián)的設(shè)備進(jìn)行檢查。
- 關(guān)閉氣體系統(tǒng)：如果向真空室內(nèi)充氣不能停止，泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。
- 檢查是否有漏氣：確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質(zhì)量。
6. 真空室壓力惡化
- 停止設(shè)備進(jìn)行檢查：當(dāng)真空排氣時(shí)間比通常長時(shí)，應(yīng)把設(shè)備停下來進(jìn)行檢查，通過壓力上升測試或用氦氣檢漏來確認(rèn)是漏氣還是放氣的影響。
